检查确定真空泵过滤器接地。

真空泵过滤器工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，高达到70℃）。如确实需要接触，采取防护措施防止受伤。

安装电机保护开关。

不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装截止阀。

排气口处要接排气管，以防灰尘进入真空泵过滤器内。

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